半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
工作视频背景
该第三工业园区群聚了十余家半导相应中小的企业主,的设计日治理 实力5000吨,必须 治理 原于有所不同中小的企业主的交织焦化废渣。原因各中小的企业主生产加工方法差别大,焦化废渣材料比较复杂多样化,治理 难度系数较高。
生产废水材质及来历
工业污工业废液 大部分包扩五大类:高氧有机废气浓度生产工业污工业废液 (光刻胶、定影液等)、含氟工业污工业废液 (刻蚀繁琐流程)和酸碱度工业污工业废液 (清洁繁琐流程)。特色化学成分包扩异丙醇、四甲基氢氧化反应铵等难可降解生产物,及及氟化物、氯离子等无机物环境排放物。工业污工业废液 COD变化大(500-3000mg/L),氟化物氧有机废气浓度100-500mg/L,氯离子50-150mg/L。
整理的工艺程序流程
选择"各类抽取+分质正确进行处理+集中化高度正确进行处理"的改革创新经营模式:
企业内外部分级预处置:含氟生产废水同时提取并预处置
经济区管线种类推送系统化
网络综合调试池义均水质标准
有级沥青混凝土积累去掉飘浮物和固体
优质生物工程发生流化床反应器(HBR)工作有机肥料污染问题物
二腐蚀碳催化剂的作用腐蚀进行分解难进行分解有机化学物
反渗透设备到模式进行脱盐正确处理
UVUV线杀菌确保有水出的安全
非常如何设置了免费环境监测数据软件系统和电脑自动投加药剂软件系统,解决地表水起伏较大。
进而的效果
装置电脑运行四年来,整理运用效果固定信得过。出水量COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氯离子<5mg/L,总氮<15mg/L,达到了地面水Ⅳ类原则,一些中水循环于工业工业区绿化带及冷凝塔补水保湿,中水循环率以上30%。第二年抑制剥好水运用约20万吨,为工业工业区企业的最省有水费数百人余万元。