半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
楼盘历史背景
该半导体器件公司企业为于长三角经济区型沿海地区,主要产量8英尺和12英尺晶圆,日摆放废用水量约2000吨。随着产量工艺技术冗杂,废一般的水都带有多样难溶解生产物和天价属阴离子,中国传统工作技术无发能够满足越来越认真的摆放原则。
废液组成成分及特征
废液关键渠道于五个方面:晶圆打孔废液有效非常多硅粉和打孔液存留;化学式机器拋光废液比较丰富固体硅和打磨科粒;刻蚀洗涤废液有效氟化物、铜正离子等血本属;光刻流程废液则有效光阻剂等有机酸污染源物。水源特征 是COD高(800-1500mg/L)、氟化物质量浓度高(200-400mg/L)、悬屏物多且有效微量分析血本属。
解决生产工艺步骤
利用"化学预清理+生化学清理+角度清理"的组合名字制作工艺:
转换池均衡教育水硬度发电量
混泥土凝固消除悬停物和固体化学物质
物理化学沉淀自己自己法主要治理 氟化物,污泥脱水钙盐行成氟化钙沉淀自己自己
水解反应过酸池的提升废液可生物化学性
触及氧化的池光降解充分污染问题物
几丁质酶炭降解塔对其进行高度操作
膜分離整体确保安全生产冒水水的硬度稳定性高
专门针对含铜生产废水单单软件设置化合物互换系统,收废有币值的轻金属铜。
进而使用效果
该项目建设后运转增强,喷水COD<50mg/L,氟化物溶液浓度值<5mg/L,铜亚铁离子溶液浓度值<0.3mg/L,贴心的售后服务招生指标均远低于国家地区《电子器材化学工业水严重废水排卸的标准》(GB 39731-2020)。每季度可变少COD排卸约300吨,氟化物排卸约50吨,回收公司铜材料约2吨,达到了生活环境盈利能力与实惠盈利能力的互惠互利。